深圳大學射頻異質(zhì)異構(gòu)集成全國重點實驗室#
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深圳大學射頻異質(zhì)異構(gòu)集成全國重點實驗室是經(jīng)國家有關(guān)部委批準立項,由深圳大學牽頭建設,上海交通大學和中興通訊股份有限公司參與共建的國家級重點實驗室。該實驗室致力于突破射頻異質(zhì)異構(gòu)集成領域的關(guān)鍵技術(shù),推動學術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)應用的深度融合。
實驗室圍繞射頻異質(zhì)異構(gòu)集成的關(guān)鍵科學技術(shù)問題,開展系統(tǒng)深入的原創(chuàng)性、前瞻性基礎研究和核心技術(shù)攻關(guān)。研究方向聚焦耦合多物理場理論與設計方法學、射頻異質(zhì)集成工藝、可測性與測試表征、集成技術(shù)應用四大領域,形成了從基礎理論到產(chǎn)業(yè)服務的完整創(chuàng)新鏈。
實驗室配備了高精度射頻測試系統(tǒng)、晶圓鍵合/解鍵合系統(tǒng)、先進封裝設備等一批高端儀器,為材料分析、器件測試和系統(tǒng)驗證提供了硬件保障。實驗室還承擔了數(shù)十項國家重大科技任務,取得了多項突破性科研成果,如研制出全球首個太赫茲波段氮化鎵非線性集成電路,開發(fā)了國內(nèi)首個射頻異構(gòu)集成設計平臺等。
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